[发明专利]一种基于激光干涉的测距与测振结构

摘要

本发明公开了一种基于激光干涉的测距与测振结构，激光器输出端连接分束器输入端，分束器的一个输出端连接合束器的一个输入端，分束器的另一输出端连接第一AOM的光信号输入端，第一AOM的电信号输入端连接第一驱动器的输出端，第一驱动器的输入端连接第一触发器的输出端；第一AOM的输出端连接第二AOM的光信号输入端，第二AOM的电信号输入端连接第二驱动器的输出端，第二驱动器的输入端连接第二触发器的输出端；第二AOM输出的激光投射到测量目标上，测量目标将激光反射到合束器的另一输入端，合束器的输出端连接探测器输入端，探测器输出端连接处理器输入端。测距时，兼具远距离和高精度，并可利用测距结构中的光学结构用于振动检测，提高了系统工作效率。

主权项

一种基于激光干涉的测距与测振结构，其特征在于，激光器输出端连接分束器输入端，分束器的一个输出端连接合束器的一个输入端，分束器的另一输出端连接第一AOM的光信号输入端，第一AOM的电信号输入端连接第一驱动器的输出端，第一驱动器的输入端连接第一触发器的输出端；第一AOM的输出端连接第二AOM的光信号输入端，第二AOM的电信号输入端连接第二驱动器的输出端，第二驱动器的输入端连接第二触发器的输出端；第二AOM输出的激光投射到测量目标上，测量目标将激光反射到合束器的另一输入端，合束器的输出端连接探测器输入端，探测器输出端连接处理器输入端；测距时，所述第一驱动器工作而第二驱动器不工作，第一驱动器在所述第一触发器的触发下启动工作而驱动所述第一AOM工作，第一AOM调制出脉冲强度信号，该强度信号通过所述第二AOM投射到所述测量目标并反射回所述合束器，该反射的强度信号与所述分束器分出的一束激光在合束器中干涉，干涉信号传给探测器，通过计算触发时间与所述探测器检测到的时间延迟得出距离；测振时，第二驱动器工作而第一驱动器不工作，第二驱动器在第二触发器的触发下启动工作而驱动所述第二AOM工作，第二AOM产生移频信号并投射到测量目标，当测量目标振动时产生多普勒效应，测量目标将该移频信号反射回合束器，该反射的移频信号与分束器分出的一束激光在合束器中干涉，干涉信号传给探测器，探测器将探测到的外差干涉信号传给处理器，处理器从外差干涉信号中解调出振动信号中的位移，速度和加速度；可同时利用测距结构中相同的光学结构用于实现物体位移、速度和加速度振动检测，做到一机多用，一机多能，同时切换简单，操作方便。