[发明专利]真空炉的分压控制系统及方法在审
| 申请号： | 201510391400.4 | 申请日： | 2015-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN104930856A | 公开（公告）日： | 2015-09-23 |
| 发明（设计）人： | 李琳;曾爱群 | 申请（专利权）人： | 上海汇森益发工业炉有限公司 |
| 主分类号： | F27D7/06 | 分类号： | F27D7/06;F27D19/00 |
| 代理公司： | 上海唯源专利代理有限公司 31229 | 代理人： | 曾耀先 |
| 地址： | 201108 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种真空炉的分压控制系统及方法，该系统包括：真空炉，具有进气口和排气口；设于所述进气口的质量流量计，控制进入所述真空炉内气体的进入量；设于所述排气口的角度阀，控制从所述真空炉内排出的气体的排出量；以及与所述质量流量计和所述角度阀控制连接的分压控制模块，所述分压控制模块获取所述真空炉内的当前压力值，根据所述真空炉的压力设定值和所述当前压力值、并通过所述质量流量计和所述角度阀控制所述真空炉内气体的进入量和排出量，以使得所述真空炉内的当前压力值趋于所述压力设定值。通过分压控制模块实现了自动分压控制，压力调整范围广，压力控制精确，且压力控制更为稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 真空炉 控制系统 方法 | ||
【主权项】：
一种真空炉的分压控制系统，其特征在于，包括：真空炉，具有进气口和排气口；设于所述进气口的质量流量计，控制进入所述真空炉内气体的进入量；设于所述排气口的角度阀，控制从所述真空炉内排出的气体的排出量；以及与所述质量流量计和所述角度阀控制连接的分压控制模块，所述分压控制模块获取所述真空炉内的当前压力值，根据所述真空炉的压力设定值和所述当前压力值、并通过所述质量流量计和所述角度阀控制所述真空炉内气体的进入量和排出量，以使得所述真空炉内的当前压力值趋于所述压力设定值。
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