[发明专利]一种新型极限电流型片式氧传感器

摘要

一种新型片式极限电流型氧传感器，其特征在于由扩散障碍层、化学泵反应层、空气参比通道层以及加热层由上至下依次叠合后温等静压后烧结而成；该氧传感器结构紧凑坚实，反应灵敏，高温下也可以稳定的工作，同时其制备工序简单，生产效率很高，稳定性好。

主权项

一种新型片式极限电流型氧传感器，其特征在于由扩散障碍层、化学泵反应层、空气参比通道层以及加热层由上至下依次叠合后温等静压后烧结而成；所述扩散障碍层为扩散障碍层流延基片（7）；所述化学泵反应层包括由上至下依次叠合的第一层流延基片（1）和第二层流延基片（2），在第一层流延基片（1）的上表面印刷有化学泵外电极（11），在化学泵外电极（11）上分布有化学泵外外电极上表面绝缘层（10）和化学泵外电极下表面绝缘层（12），在化学泵外电极（11）的头部四周印刷有粘结剂层（8），在化学泵外电极的头部印刷有有机挥发层（9），该有机挥发层（9）在烧结后消失，粘结剂层（8）位于扩散障碍层流延片（7）的下方；第二层流延基片（2）的下表面印刷有化学泵内电极（16），在化学泵内电极（16）上分布有化学泵内电极的上表面绝缘（15）和化学泵内电极下表面的绝缘（17）；为了导出化学泵内电极（16）的引线，在第一层流延基片（1）的引脚处开有第一层流延基片化学泵内电极引出孔（13），及在第二层流延基片（2）的引脚处开有第二层流延基片化学泵内电极引出孔（14）；所述空气参比通道层包括由上至下依次叠合的第三层流延基片（3）和第四层流延基片（4），所述第三层流延基片（3）的上表面设置有一端封闭的空气参比通道（19），空气参比通道（19）内完全填充空气参比通道挥发片（18），空气参比通道挥发片（18）在烧结后消失；所述加热层包括由上至下依次叠合的第五层流延基片（5）和第六层流延基片（6），在第五层流延基片（5）的上表面设置有一加热电极（21），所述加热电极（21）的上表面与下表面分别设置有加热电极上表面绝缘层（20）与加热电极下表面绝缘层（22），在第六层流延基片（6）的下表面设置有一加热引脚电极（26），在第六层流延基片（6）下表面与加热引脚电极（26）上表面之间还设置有加热引脚绝缘层（25）；在第五层流延基片（5）上开有第五层流延基片加热电极引出孔（23），在第六层流延基片（6）上开有第六层流延基片加热电极引出孔（24）。