[发明专利]一种多线切割机线网张力测量装置及方法

摘要

本发明公开了一种多线切割机线网张力测量装置及方法。在多线切割机加工晶锭过程中张力是一个重要的参数，线网上的张力是变化的并且难以通过普通的张力检测工具测量。所述测量装置的测量原理是根据被测线在竖直方向力达到平衡，利用可测的重力等效于被测线所受晶锭的压力，从而计算出线的张力，装置包括测量支柱、T型连接杆、压力传感器、连接线、长形盒、配重液、万用表以及中间夹着导电薄片的晶锭构成。通过测量不同位置线上张力，就可以得出线网张力的分布情况。本发明实现了切割过程中线网上张力的测量，为工艺调整提供了科学的依据。

主权项

一种多线切割机线网张力测量装置，包括两个测量支柱（8），其特征在于，所述测量支柱（8）中间有连接绳（15）与T型连接杆（16）相连，所述T型连接杆（16）下端与压力传感器（11）相连；所述压力传感器（11）的下端与下连接杆（17）相连；所述下连接杆（17）通过连接绳（15）与长形盒（12）相连，所述长形盒（12）里面装有配重液（18），所述测量支柱（8）支承在线网（5）的两根相邻被测线（9）上，所述被测线（9）在晶锭（2）的向下的力作用下偏离平衡位置成一角度A，所述晶锭（2）的中间夹着导电薄片（6），所述导电薄片（6）用电线（13）与万用表（14）一端相连，所述万用表（14）另一极用电线（13）与测量支柱（8）相连。