[发明专利]远距离激光干涉尺及其测量方法有效
| 申请号: | 201510389515.X | 申请日: | 2015-07-06 |
| 公开(公告)号: | CN105043268B | 公开(公告)日: | 2017-11-03 |
| 发明(设计)人: | 张泽宇;凌一洲 | 申请(专利权)人: | 张泽宇 |
| 主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02 |
| 代理公司: | 江阴市同盛专利事务所(普通合伙)32210 | 代理人: | 唐纫兰,陈强 |
| 地址: | 214434 江苏省无锡市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 本发明涉及一种远距离激光干涉尺及其测量方法,所述远距离激光干涉尺包含有主壳体(1),所述主壳体(1)的前端设置有出光孔(1.1),所述主壳体(1)的前端左右两侧对称连接有左壳体(2)和右壳体(3),所述左壳体(2)内安装有激光源(4),所述主壳体(1)内安装有反射镜一(5)和半反半透镜(6),所述右壳体(3)内安装有反射镜二(7)。本发明涉及一种远距离激光干涉尺及其测量方法,测量快速精确且适用范围广。 | ||
| 搜索关键词: | 远距离 激光 干涉 及其 测量方法 | ||
【主权项】:
一种远距离激光干涉尺的测量方法,其特征在于:该测量方法利用一种远距离激光干涉尺将干涉条纹照射在被测物上,所述远距离激光干涉尺包含有主壳体(1),所述主壳体(1)的前端设置有出光孔(1.1),所述主壳体(1)的前端左右两侧对称连接有左壳体(2)和右壳体(3),所述左壳体(2)内安装有激光源(4),所述主壳体(1)内安装有反射镜一(5)和半反半透镜(6),所述右壳体(3)内安装有反射镜二(7),激光源(4)发出的激光入射至半反半透镜(6)后分为反射光路和折射光路,反射光路经反射镜一(5)反射后再经半反半透镜(6)折射形成出射光一,折射光路经反射镜二(7)反射后再经半反半透镜(6)反射形成出射光二,构成相干光的出射光一和出射光二汇总后经由出光孔(1.1)射出;所述主壳体(1)上还安装有激光测距仪(8)和CCD模组(9),所述主壳体(1)内还安装有处理器(10),利用CCD模组(9)获取干涉条纹的图片,经处理器(10)内进行图像处理,获取干涉条纹的条数;通过激光测距仪(8)获取远距离激光干涉尺与被测物之间的距离,结合激光源(4)和反射镜二(7)之间的间距,以及激光源(4)发出的激光波长信息,处理器(10 )计算得出相邻干涉条纹之间的间距,通过该间距与干涉条纹的条数,即可得出被测物的高度或长度。
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