[发明专利]一种微型四通道循环流式三轴硅射流陀螺

摘要

本申请公开了一种微型四通道循环流式三轴硅射流陀螺，该射流陀螺包括四通道循环流式三轴角速度敏感元件和PCB电路板，敏感元件和PCB电路板电连接，其中，敏感元件包括PMMA上盖、上硅板、下硅板、PMMA底盖和压电陶瓷圆振子；压电陶瓷圆振子嵌入PMMA上盖上；上硅板上设置有射流网络；下硅板上设置有射流网络和热线；PMMA上盖、上硅板、下硅板和PMMA底盖依次粘接构成所述敏感元件。本申请的射流陀螺用一个压电陶瓷圆振子驱动四通道循环流，不仅结构简单，寿命长，功耗低，实现了压电陶瓷圆振子变形方向和射流网络平面的转向，压电陶瓷圆振子的面积大，驱动能力强，射流速度大，射流陀螺的灵敏度高；能同时敏感三个正交方向角速度，多轴一体。

主权项

一种微型四通道循环流式三轴硅射流陀螺，所述射流陀螺包括四通道循环流式三轴角速度敏感元件和PCB电路板，所述敏感元件和PCB电路板电连接，其特征在于，所述敏感元件包括PMMA上盖、上硅板、下硅板、PMMA底盖和压电陶瓷圆振子；其中，所述压电陶瓷圆振子嵌入至所述PMMA上盖上；所述上硅板上设置有射流网络；所述下硅板上设置有射流网络和热线；所述PMMA上盖、上硅板、下硅板和PMMA底盖依次粘接构成所述敏感元件。