[发明专利]制备铁酸铋薄膜的装置、方法及制备太阳能电池的方法

摘要

本发明公开了一种制备有织构特征的铁酸铋薄膜的装置，主要在于在坩埚体侧壁上对称设置有两个相同的通气孔，通气孔上连接有通气管。使用该装置制备铁酸铋薄膜，采用现有方法在基板上沉积铁酸铋薄膜，在退火步骤中将铁酸铋薄膜置于该装置坩埚内腔，使通气管的中心线穿过铁酸铋薄膜，该装置放置在管式炉中对铁酸铋薄膜定向退火。退火过程中用较小的氧气量就使氧气在铁酸铋薄膜表面形成定向流动，从而使铁酸铋薄膜的晶粒在氧气流动方向成长较快，形成织构特征。采用本方法将铁酸铋薄膜太阳电池中的铁酸铋薄膜形成织构特征从而得到具有织构特征的铁酸铋薄膜太阳能电池。

主权项

一种制备有织构特征的铁酸铋薄膜的装置，其特征在于：包括坩埚体和坩埚盖；所述坩埚盖与所述坩埚体配合，用于密封所述坩埚体；所述坩埚体包含底面和侧壁，所述坩埚体的内腔用于放置铁酸铋薄膜；所述坩埚体的侧壁对称设置有两个相同的通气孔；每个通气孔均插接有通气管；所述通气管的外周面为阶梯形，所述通气管含有大端和小端，其小端插接于所述坩埚体侧壁上的通气孔内；其大端插接于与气瓶连接的石英管内，并用橡胶密封。