[发明专利]一种直拉硅单晶炉用固化炭毡整体导流筒及其制备方法在审
申请号: | 201510368281.0 | 申请日: | 2015-06-30 |
公开(公告)号: | CN104911696A | 公开(公告)日: | 2015-09-16 |
发明(设计)人: | 康志卫;张治军;戴开瑛;崔金;李猛 | 申请(专利权)人: | 湖南南方搏云新材料有限责任公司 |
主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14;C30B29/06 |
代理公司: | 长沙星耀专利事务所 43205 | 代理人: | 宁星耀 |
地址: | 410100 湖南省长沙*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 一种直拉硅单晶炉用固化炭毡整体导流筒及其制备方法,该直拉硅单晶炉用固化炭毡整体导流筒包括导流筒耳部(1)、导流筒锥形筒部(2)及表面涂层(3)。其制备方法包括以下步骤:(1)设计和制造导流筒胎具;(2)设计炭毡的形状和尺寸;并据此尺寸裁剪下料;(3)坯体制备;(4)坯体固化;(5)坯体炭化;(6)机加工坯体及组装;(7)表面涂层;(8)涂层固化;(9)化学气相沉积强化处理;(10)高温纯化处理。本发明固化炭毡整体导流筒,能有效地提高整体导流筒在高温使用过程中的保温性能,降低功率节约能耗约10%,降低拉晶成本,同时提高了拉晶成品率与效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 直拉硅单晶炉用 固化 整体 导流 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种直拉硅单晶炉用固化炭毡整体导流筒,其特征在于包括导流筒耳部(1)、导流筒锥形筒部(2)及表面涂层(3);所述导流筒耳部(1)和导流筒锥形筒部(2)由固化炭毡制造而成;所述导流筒耳部(1)与导流筒锥形筒部(2)连接处采取锥面配合;所述表面涂层(3)为物理阻挡层。
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