[发明专利]具有子像素结构的空间光调制器缺陷检测的装置及方法

摘要

本发明提供一种具有子像素结构的空间光调制器缺陷检测的装置及方法，该装置包括：伺服系统，用于装载/卸载空间光调制器SLM，并对所述SLM的位置和姿态进行调整；采集系统，用于采集SLM显示的一系列图案；处理系统，用于从采集系统拍摄图像中分割出SLM显示的图像区域，并对SLM显示的图像区域进行亮度补偿，计算亮度补偿后的SLM显示的图像区域中多个像素点的像素均值和方差的均值，并根据多个像素点的像素均值和方差的均值判断SLM是否存在缺陷点。该装置具有操作简单、检测速度快、精度高、综合成本低等优点。

主权项

一种具有子像素结构的空间光调制器缺陷检测的装置，其特征在于，包括：伺服系统，所述伺服系统用于装载/卸载空间光调制器SLM，并对所述SLM的位置和姿态进行调整；采集系统，所述采集系统位于所述SLM上方，用于采集所述SLM显示的一系列图案；处理系统，所述处理系统分别与所述伺服系统和所述采集系统相连，用于对所述伺服系统和所述采集系统进行控制，并从所述采集系统拍摄图像中分割出SLM显示的图像区域，并对所述SLM显示的图像区域进行亮度补偿，以及计算亮度补偿后的所述SLM显示的图像区域中多个像素点的像素均值和方差的均值，并根据所述多个像素点的像素均值和方差的均值判断所述SLM是否存在缺陷点。