[发明专利]摩擦缺陷检测装置

摘要

本发明提供了一种摩擦缺陷检测装置，包括红外成像单元，用于对显示基板的设有取向膜的表面进行红外成像得到红外图像；以及，摩擦缺陷检测单元，用于根据所述红外图像的红外辐射亮温分布图检测所述取向膜上是否存在摩擦缺陷。本发明利用红外检测摩擦缺陷的被动红外图像，较蒸汽检测，被动红外图像可以有效检测，避免喷射蒸汽不均匀。

主权项

一种摩擦缺陷检测装置，其特征在于，包括：红外成像单元，用于对显示基板的设有取向膜的表面进行红外成像得到红外图像；以及，摩擦缺陷检测单元，用于根据所述红外图像的红外辐射亮温分布图检测所述取向膜上是否存在摩擦缺陷；所述红外成像单元包括红外光源、分光棱镜、滤光镜、反射镜、红外检测器、可控镜头、可控光栅和延迟器，其中，红外光源，用于向所述显示基板的设有取向膜的表面发射垂直于该表面的红外光；所述红外光源发射的红外光通过所述分光棱镜的透射面和所述滤光镜照射至所述显示基板的设有取向膜的表面，所述表面反射的红外光通过所述可控镜头和所述滤光镜后射向所述分光棱镜的反射面，所述分光棱镜的反射面对所述表面反射的红外光进行反射，使得所述红外光再次被所述反射镜反射而射向所述红外检测器，从而完成红外成像；所述滤光镜，用于滤除透过其光线中的非红外光；所述可控镜头，设置于所述滤光镜和所述显示基板的设有取向膜的表面之间，用于调节聚焦；所述可控光栅，设置于所述分光棱镜的反射面和所述反射镜之间；所述延迟器，设置于所述可控光栅和所述反射镜之间，用于控制所述分光棱镜的反射面反射的红外光线延迟到达红外线检测器，以调节所述红外线检测器测量得到的红外光线的时序。