[发明专利]晶片式薄膜电阻的制造方法在审
| 申请号: | 201510342903.2 | 申请日: | 2015-06-19 |
| 公开(公告)号: | CN106328330A | 公开(公告)日: | 2017-01-11 |
| 发明(设计)人: | 王万平 | 申请(专利权)人: | 旺诠股份有限公司 |
| 主分类号: | H01C17/12 | 分类号: | H01C17/12 |
| 代理公司: | 北京泰吉知识产权代理有限公司11355 | 代理人: | 张雅军 |
| 地址: | 中国台湾*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 一种晶片式薄膜电阻的制造方法,包含以下二步骤:一提供步骤,及一电阻单元形成步骤,该提供步骤是提供一基板,该基板包括一第一表面及一相反于该第一表面的第二表面。该电阻单元形成步骤是准备一具有预定图案的磁性遮罩,及一磁性固定件,将该磁性遮罩及磁性固定件分别设置于该基板的第二表面,与第一表面,令该磁性遮罩透过该磁性固定件而吸附固定于该基板的第二表面,再透过该磁性遮罩遮罩于该基板的第二表面溅镀形成至少一个电阻单元。借此使得在溅镀沉积的过程中透过磁力作用让该磁性遮罩服贴于该基板,而确保形成的该电阻单元的形状、位置皆能符合其精确度。 | ||
| 搜索关键词: | 晶片 薄膜 电阻 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种晶片式薄膜电阻的制造方法,其特征在于:包含:一个提供步骤,提供一个基板,该基板包括一个第一表面,及一个相反于该第一表面的第二表面;及一个电阻单元形成步骤,准备一个具有预定图案的磁性遮罩,及一个磁性固定件,将该磁性遮罩及该磁性固定件分别设置于该基板的第二表面与第一表面,令该磁性遮罩透过该磁性固定件而吸附固定于该基板的第二表面,再透过该磁性遮罩于该基板的第二表面溅镀形成至少一个电阻单元,该至少一个电阻单元包括一个电阻层,及两个彼此间隔的正导体,该电阻层与该二正导体电连接。
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