[发明专利]红外截止滤光片的制备方法

摘要

本发明涉及一种红外截止滤光片的制备方法，具体步骤包括；开料、整形、切片、倒角、研磨、双面化学抛光、镀膜等工序；本发明制成的红外截止滤光片成片质量高，废品率低，生产效率高。

主权项

一种红外截止滤光片的制备方法，其特征在于，包括以下具体步骤：步骤一、开料；取蓝玻璃为原料，使用玻璃开料机将蓝玻璃原料按需求进行开料；步骤二、整形；采用数控机床的金刚石砂轮对晶片的边角进行磨边处理；步骤三、切片；采用金刚砂线切割设备对整形后的蓝玻璃进行切割，从而得到蓝玻璃片；步骤四、倒角；将蓝玻璃片安装在CNC数控机床上，通过真空吸盘吸取并固定；将吸盘移动至CNC数控机床上的砂轮上方，控制砂轮以500～600 rpm/min的速率旋转，调节吸盘向下摆动与砂轮接触实现对蓝玻璃片的磨削，使蓝玻璃片边缘形成圆弧形倒角；步骤五、研磨；采用研磨机对晶片进行研磨；研磨时，加入研磨液，研磨盘的转速为1000～1200rpm/min；研磨完成后用无水乙醇清洗；所述研磨液组分包括：0.5～2%的颗粒大小为10～20μm的立方氮化硼粉末，14～16%的烷基酚聚氧乙烯醚，4～6%的甘油，9～11%的聚丙二醇400，其余为去离子水；步骤六、双面化学抛光；先用无水乙醇对晶片进行清洗，然后将清洗后的晶片放入双面抛光机中固定；抛光时，加入抛光液，抛光盘对晶片加压至0.12～0.15 Mpa，抛光盘的转速为1000～1500rpm/min、将抛光好的晶片用无水乙醇清洗后，在室温下进行自然冷却；所述抛光液组分包括：0.5～2%的颗粒大小为1～6μm的立方氮化硼粉末，14～16%的烷基酚聚氧乙烯醚，4～6%的甘油，9～11%的聚丙二醇400，0.5～2%的纳米二氧化硅，使得抛光液PH值为11.0～13.0的碱性溶液，其余为去离子水；抛光过程中不断补充碱性溶液以保持抛光液的PH值；步骤七、镀膜；采用光学真空镀膜机对蓝玻璃片的正反两面镀高透膜，高透膜由低折射率氧化物和高折射率氧化物逐层镀覆而成且层数为15～25层，最靠近晶片的一层采用低折射率氧化物，所述低折射率氧化物是硅或铝的氧化物，所述高折射率氧化物是钛或钽的氧化物；然后在蓝玻璃片的正面镀一层红外截止膜。