[发明专利]一种电子级磷烷的合成与提纯装置和方法有效
| 申请号： | 201510336886.1 | 申请日： | 2015-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN104925774B | 公开（公告）日： | 2017-03-08 |
| 发明（设计）人： | 汤剑波;李东升;曾庆腾 | 申请（专利权）人： | 上海正帆科技有限公司;合肥正帆电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C01B25/06 | 分类号： | C01B25/06 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司31001 | 代理人： | 翁若莹 |
| 地址： | 201108 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种电子级磷烷的合成与提纯装置和方法。所述的电子级磷烷的合成与提纯装置，其特征在于，包括反应器，反应器连接冷凝器，冷凝器连接干燥塔，中转容器的入口连接干燥塔的出口，中转容器的出口连接第一精馏塔，第一精馏塔连接第一塔顶冷凝器和第一塔底再沸器，第一塔底再沸器连接第一精馏塔，第一塔顶冷凝器连接第一精馏塔和第二精馏塔，第二精馏塔连接第二塔顶冷凝器和第二塔底再沸器，第二塔底再沸器连接第二精馏塔，第二塔顶冷凝器的连接第二精馏塔，第二塔顶冷凝器连接化学吸附柱，化学吸附柱连接分子筛吸附柱，分子筛吸附柱连接收集容器。本发明制备的磷烷产品，收率可达85％以上，其纯度可达6N，产品中的杂质含量小于0.1ppm。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子 级磷烷 合成 提纯 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种电子级磷烷的合成与提纯装置，其特征在于，包括反应器（1）、冷凝器（2）、干燥塔（3）、中转容器（4）、第一液氮冷阱（5）、第一精馏塔（6）、第一塔顶冷凝器（7）、第一塔底再沸器（8）、第二精馏塔（9）、第二塔顶冷凝器（10）、第二塔底再沸器（11）、化学吸附柱（12）、分子筛吸附柱（13）、收集容器（14）和第二液氮冷阱（15）；其中，反应器（1）的气体出口连接冷凝器（2）的入口，冷凝器（2）的出口连接干燥塔（3）的入口，干燥塔（3）的出口连接中转容器（4），中转容器（4）置于第一液氮冷阱（5）内，待中转容器（4）收集磷烷后，将中转容器（4）从第一液氮冷阱（5）中取出，将中转容器（4）连接到第一精馏塔（6），第一精馏塔（6）连接第一塔顶冷凝器（7）的入口和第一塔底再沸器（8）的入口，第一塔底再沸器（8）的出口连接第一精馏塔（6），第一塔顶冷凝器（7）的出口连接第一精馏塔（6）和第二精馏塔（9），第二精馏塔（9）连接第二塔顶冷凝器（10）的入口和第二塔底再沸器（11）的入口，第二塔底再沸器（11）的出口连接第二精馏塔（9），第二塔顶冷凝器（10）的液体出口连接第二精馏塔（9），第二塔顶冷凝器（10）的气体出口连接化学吸附柱（12），化学吸附柱（12）连接分子筛吸附柱（13），分子筛吸附柱（13）连接收集容器（14），第一液氮冷阱（5）和第二液氮冷阱（15）分别用于冷却中转容器（4）和收集容器（14）。
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