[发明专利]蓝宝石粗磨液有效

专利信息
申请号: 201510334985.6 申请日: 2015-06-16
公开(公告)号: CN105038605B 公开(公告)日: 2017-08-25
发明(设计)人: 朱联烽;田多胜 申请(专利权)人: 东莞市中微纳米科技有限公司
主分类号: C09G1/02 分类号: C09G1/02
代理公司: 广州天河恒华智信专利代理事务所(普通合伙)44299 代理人: 姜宗华
地址: 523808 广东省东莞市松山湖高*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及蓝宝石研磨抛光技术领域,特别是一种蓝宝石粗磨液;粗磨液包括以下组分阻聚剂0.3~1wt%;分散剂1~3wt%;磨料5~15wt%;粉末润滑剂1~2wt%;余量为去离子水;粉末润滑剂为石墨或六方氮化硼;磨料为高硬度粉末材料;本本发明中,高硬度材料对蓝宝石表面起切削作用,润滑剂起润滑缓冲作用,减小高硬度材料对表面的刻伤,利用本发明进行研磨,蓝宝石晶面表面初磨无划痕、缺陷少,循环粗磨20小时晶片去除率仍可保持在8~10微米/分钟;另外,同现有的强腐蚀剂相比,本发明不会对设备和操作人员产生危害。
搜索关键词: 蓝宝石 粗磨液
【主权项】:
一种蓝宝石粗磨液,其特征在于:所述粗磨液包括以下组分:阻聚剂:0.3~1wt%;分散剂:1~3wt%;磨料:5~15wt%;粉末润滑剂:1~2wt%;余量为去离子水;所述粉末润滑剂为石墨或六方氮化硼;所述粉末润滑剂的中位粒径D50为3~5μm;所述磨料为高硬度粉末材料;所述分散剂为十二烷基苯磺酸钠、十四烷基苯磺酸钠、十六烷基苯磺酸钠、十二烷基萘磺酸钠、十四烷基萘磺酸钠、硼酸酯中的一种或几种;所述阻聚剂为羧甲基纤维素钠、聚马来酸、聚环氧琥珀酸、聚氨基酸、马来酸酐‑丙烯酸、膦酸基羧酸中的一种或几种。
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