[发明专利]叠层结构的脱层方法

摘要

本发明公开一种叠层结构的脱层方法，包含下列步骤。提供叠层结构，叠层结构包括互相接合的载板以及基板，其中载板具有第一表面，基板具有第二表面，且第一表面与第二表面彼此接触。提供分离器，其中分离器包括治具以及软性结构，且软性结构的两端分别与治具连接。利用第一治具将第一软性结构拉紧并由载板与第一基板的一侧插入第一表面与第二表面之间，以使第一表面与第二表面未彼此接合，并利用治具将软性结构向上抬升，以将基板提起而使得基板与载板分离。

主权项

一种叠层结构的脱层方法，包括下列步骤：提供一叠层结构，该叠层结构包括互相接合的第一载板以及第一基板，其中该第一载板具有第一表面，该第一基板具有第二表面，且该第一表面与该第二表面彼此接触；提供一分离器，其中该分离器包括第一治具以及第一软性结构，且该第一软性结构的两端分别与该第一治具连接；利用该第一治具将该第一软性结构拉紧并由该第一载板与该第一基板的一侧插入该第一表面与该第二表面之间，以使该第一表面与该第二表面未彼此接合；以及利用该第一治具将该第一软性结构向上抬升，以将该第一基板提起而使得该第一基板与该第一载板分离。