[发明专利]双级干式真空泵

摘要

一种双级干式真空泵，包括：泵体缸，有内部容纳空间，两侧有抽吸和排放端口；1、2级气缸，在内部容纳空间内；一对泵轴，穿过1、2级气缸平行安装；一对罗茨型转子，同步反向转动并与穿过1级气缸的泵轴啮合；一对螺杆型转子，同步反向转动并与穿过2级气缸的泵轴啮合；电动机，转动泵轴中任一个；一对齿轮，与泵轴啮合以使其同步转动；1级抽吸通道，将抽吸端口和1级气缸互连；排气传输通道，将1、2级气缸互连；1、2级排气通道级排气通道，分别将排气传输通道和2级气缸后端与排气端口互连；1、2级排气阀级排气阀，分别由1、2级排气通道排出的气体压力来开闭；及冷却水套，冷却水通过其循环以至少冷却2级气缸或泵轴的轴承支承部分。

主权项

一种双级干式真空泵，包括：泵体缸，所述泵体缸包括内部容纳空间，并在所述泵体缸一侧具有抽吸端口，而在另一侧具有排放端口；1级气缸和2级气缸，所述1级气缸和所述2级气缸设置在所述泵体缸的所述内部容纳空间内；一对泵轴，该对泵轴穿过所述1级气缸和所述2级气缸平行地安装；一对罗茨型转子，该对罗茨型转子安装成在同步状态下反向转动，其中，所述罗茨型转子与穿过所述1级气缸的所述泵轴啮合；一对螺杆型转子，该对螺杆型转子安装成在同步状态下反向转动，其中，所述螺杆型转子与穿过所述2级气缸的泵轴啮合；电动机，所述电动机构造成转动所述一对泵轴中的任何一个；一对齿轮，该对齿轮与所述泵轴啮合，以使所述一对泵轴同步地转动；1级抽吸通道，该1级抽吸通道将所述抽吸端口和所述1级气缸互连；排气传输通道，该排气传输通道将所述1级气缸和所述2级气缸互连；1级排气通道，该1级排气通道将所述排气传输通道和所述排气端口互连；2级排气通道，该2级排气通道将所述2级气缸的后端和所述排气端口互连；1级排气阀，该1级排气阀由通过所述1级排气通道排出的所述气体压力来打开和关闭；2级排气阀，该2级排气阀由通过所述2级排气通道排出的所述气体压力来打开和关闭；以及冷却水套，冷却水穿过所述冷却水套循环，从而至少冷却所述2级气缸或所述泵轴的轴承支承部分。