[发明专利]一种钒硅合金靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 201510315291.8 | 申请日： | 2015-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN104894448B | 公开（公告）日： | 2018-07-06 |
| 发明（设计）人： | 徐玄;顾进跃;顾伟华;李巧梅;马辉 | 申请（专利权）人： | 深圳市威勒科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C22C27/02 | 分类号： | C22C27/02;C22C1/05;B22F3/115 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市福田区*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种钒硅合金靶材及其制备方法，该靶材由钒粉、硅粉及粘结剂制作组成，其中钒粉与硅粉的质量配比为19:1～3:2，所述钒粉与硅粉的纯度大于99.5％。该制备方法包括以下步骤：按比例称取钒粉与硅粉，并将两者充分混匀；将混匀的钒粉和硅粉加入粘结剂进一步混匀，并处理得到干燥的钒硅粉与粘结剂的复合粉末材料；将步骤(2)的复合粉末材料进行等离子喷涂操作；取下喷涂所得的构件，并对所述构件进行处理得到成品。本发明的钒硅合金靶材均匀性好，稳定性高。本发明的制备方法采用等离子喷涂方式简单易行，无需模具设计和昂贵的压制设备，操作方便，制备所得的靶材溅射性能优良，杂质少，适用于光学镀膜。 | ||
| 搜索关键词： | 钒粉 硅粉 制备 钒硅 合金靶材 粘结剂 混匀 复合粉末材料 等离子喷涂 靶材 光学镀膜 均匀性好 模具设计 压制设备 质量配比 喷涂 称取 溅射 取下 制作 | ||
【主权项】：
1.一种钒硅合金靶材，其特征在于，由钒粉、硅粉及粘结剂制作组成，其中钒粉与硅粉的质量配比为19:1～3:2，所述钒粉与硅粉的纯度大于99.5％；钒硅合金靶材采用钒硅复合粉末进行等离子喷涂成型得到，等离子喷涂操作采用真空等离子喷涂系统进行操作，系统真空室内温度为10～80℃，氧含量0～600ppm，压力为100～125个kPa，喷涂距离100～300mm，喷涂功率60～80kW，转盘转速为300～500r/min，送粉速率为3～7kg/h,喷枪移动速率为70～150mm/s，喷涂角度为60°～90°，单次连续喷涂时间为30～60min。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市威勒科技股份有限公司，未经深圳市威勒科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510315291.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
