[发明专利]浸泡式玻璃基板蚀刻机有效
| 申请号： | 201510314348.2 | 申请日： | 2015-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN104891817B | 公开（公告）日： | 2017-05-03 |
| 发明（设计）人： | 刘亮;尹德胜 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种浸泡式玻璃基板蚀刻机，包括一槽体(10)、位于所述槽体(10)底部的底部鼓泡板(20)、置于所述槽体(10)内并位于所述底部鼓泡板(20)上的内框(30)、及位于内框(30)内的数层间隔设置的内框鼓泡板(40)；相较于现有蚀刻机中仅底部设有鼓泡板的结构，能够强化槽内槽液循环，使玻璃基板表面产生的生成物被及时去除，并能够使槽内槽液循环更加均匀，避免水波纹及厚度蚀刻异常的产生。 | ||
| 搜索关键词： | 浸泡 玻璃 蚀刻 | ||
【主权项】：
一种浸泡式玻璃基板蚀刻机，其特征在于，包括一槽体(10)、位于所述槽体(10)底部的底部鼓泡板(20)、置于所述槽体(10)内并位于所述底部鼓泡板(20)上的内框(30)、及位于内框(30)内的数层间隔设置的内框鼓泡板(40)；所述底部鼓泡板(20)与内框鼓泡板(40)分别包括数条鼓泡管道，所述鼓泡管道具有多个鼓泡孔；使用时，每一玻璃基板均位于每层内框鼓泡板(40)的两条相邻鼓泡管道之间。
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