[发明专利]一种沉积土豪金膜层的设备及其使用方法在审
| 申请号： | 201510302409.3 | 申请日： | 2015-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN104878352A | 公开（公告）日： | 2015-09-02 |
| 发明（设计）人： | 杜旭颖;阮志明;王大洪;曾德强;庞文峰 | 申请（专利权）人： | 深圳市正和忠信股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/06 |
| 代理公司： | 韶关市雷门专利事务所 44226 | 代理人： | 周胜明 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种沉积土豪金膜层的设备，包括一个密封的真空腔体，在该真空腔体内设有一个圆环形的转架，在该转架上等距排列有若干个工件，在转架中间处设置有上下两排呈弧形排列的加热管，在真空腔体的左右两侧设置有对称相同的两个凸腔，凸腔内设置有用于放置Ti靶和Zr靶的料口及气管，在其中一个凸腔的上端则设有一个用于放置离子源的小凸腔，在该真空腔体的上端连通有一个抽真空系统。全球土豪金（可替代黄金）颜色标准色办片由我司制作，具有亮度高、红度合适、黄度高、耐腐蚀、耐磨、膜层均匀的特点；工艺稳定性及一致性较好；膜层厚度、硬度、耐腐蚀性与同行业相比有质的飞跃。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 沉积 土豪 金膜层 设备 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
一种沉积土豪金膜层的设备，其特征是：包括一个密封的真空腔体，在该真空腔体内设有一个圆环形的转架，在该转架上等距排列有若干个工件，在转架中间处设置有上下两排呈弧形排列的加热管，在真空腔体的左右两侧设置有对称相同的两个凸腔，凸腔内设置有设置有用于放置Ti靶和Zr靶的料口及气管，在其中一个凸腔的上端则设有一个用于放置离子源的小凸腔，在该真空腔体的上端连通有一个抽真空系统。
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