[发明专利]一种带有石墨纸夹层的硅料加热埚

摘要

一种带有石墨纸夹层的硅料加热埚，其包括用以熔融硅晶体的石英坩埚和承载石英坩埚的石墨坩埚，所述的石英坩埚位于石墨坩埚的内腔中，石英坩埚的外形与石墨坩埚内腔的形状相配，石英坩埚的上沿高于石墨坩埚的上表面；所述石英坩埚的外表面与石墨坩埚的内腔之间还设有防止二者反应的石墨纸夹层，石墨纸的外形与石墨坩埚内腔的形状相配，石英坩埚的外表面贴合石墨纸的内腔，所述石墨纸的外表面贴合石墨坩埚的内腔，在石英坩埚的外表面与石墨坩埚的内腔之间铺设有石墨纸，以避免石英坩埚和石墨坩埚高温发生氧化反应，提高石墨坩埚的使用寿命，大大降低成本，经济耐用性更高。

主权项

一种带有石墨纸夹层的硅料加热埚，其特征在于：包括用以熔融硅晶体的石英坩埚(1)和用于承载石英坩埚(1)的石墨坩埚(3)，所述的石英坩埚(1)位于石墨坩埚(3)的内腔中，石英坩埚(1)的外形与石墨坩埚(3)内腔的形状相配，石英坩埚(1)的上沿高于石墨坩埚(3)的上表面；所述石英坩埚(1)的外表面与石墨坩埚(3)的内腔之间还铺设有石墨纸(2)，石墨纸(2)的外形与石墨坩埚(3)内腔的形状相配；石英坩埚(1)的外表面贴合石墨纸(2)的内腔，所述石墨纸(2)的外表面贴合石墨坩埚(3)的内腔；所述的石墨纸(2)的展开形状为带有多个锯齿的长条状结构，所述石墨纸(2)的长度与石英坩埚(1)口部内壁的周长相同；所述石墨纸(2)的多个锯齿的边缘相重合以旋转排列围合聚拢成与石墨坩埚(3)内腔相配的形状。