[发明专利]碳化硅微粉除碳装置及方法

摘要

本发明公开了一种碳化硅微粉除碳装置及方法，旨在解决现有的碳化硅微粉除碳技术中存在的废碳料中SiC含量较高、料损较大造成的资源浪费、生产成本高的技术问题。该装置包括除碳池、鼓气设备、吸附设备和收集设备。该方法包括造浆、鼓气、粘附除碳和放料工序。本发明除碳效果好、效率高，可以显著降低废碳料中的SiC含量，提高资源利用率、降低料损，进而提高生产效率、降低生产成本；经过本发明处理后的碳化硅微粉中游离碳含量小于0.15%，能够完全满足晶硅片切割刃料的技术指标。

主权项

一种碳化硅微粉除碳装置，其特征在于，包括除碳池、鼓气设备、吸附设备和收集设备，所述吸附设备包括设置于所述除碳池一端侧壁顶部的辊筒支架、横向安装于所述辊筒支架上的圆柱形辊筒，以及与所述辊筒相连接、并为所述辊筒提供转动动力的驱动机构，所述辊筒的底侧面位于所述除碳池内、外侧面位于所述除碳池端部侧壁之外；所述收集设备包括安装于所述除碳池的端部侧壁上的刮板和碳收集箱，所述刮板的一边与所述辊筒的外侧面相切、另一边延伸至所述碳收集箱的上部开口处；所述鼓气设备包括设置于所述除碳池底部的布气管、与所述布气管相连通的输气管，所述输气管的进气口延伸至所述除碳池外部，在所述进气口处连接有气泵，在所述输气管上还设置有进气阀，在所述布气管的侧壁上设有布气孔；在所述除碳池的一侧侧壁下部设有排料口；所述布气管等距设置于所述除碳池底部，并与所述辊筒相平行，从所述除碳池的另一端至靠近所述辊筒的一端，相邻布气管上的布气孔的孔径依次减小、布气孔的数量依次增多；靠近所述辊筒一端的布气管上的布气孔的孔径为1～3mm；远离所述辊筒一端的布气管上的布气孔的孔径为8～10mm。