[发明专利]一种MnCoNi氧化物陶瓷红外灵敏元致密化的方法

摘要

一种MnCoNi氧化物陶瓷红外灵敏元致密化的方法，首先将待处理的红外灵敏元薄片通过压板固定，然后置于石墨炉中，通过控制压力和升温速度，可获得致密化的红外灵敏元薄片，经检验，所得红外灵敏元薄片孔隙率低，噪声、阻值合格率高。

主权项

一种MnCoNi氧化物陶瓷红外灵敏元致密化的方法；其特征在于，包括以下步骤：步骤(1)制备红外灵敏元薄片，步骤如下：第一步，按照MnCoNi原子比为52：32：16配制MnCoNi氧化物粉体，将粉料均匀摊开在两块有机玻璃板之间形成Φ5cm～8cm的圆形区域；第二步，将上述双层有机玻璃板放置在油压机内，压力达到15±0.1MPa后保压10s；第三步，油压机卸掉压力后打开有机玻璃板，用小毛笔把有机玻璃板中压好的薄片轻轻扫到玻璃板上，利用配有专用刀片架的测量显微镜，采用专用刀片将薄片切割为宽度0.17mm～0.20mm或0.38mm～0.43mm，长度不小于30mm的长条；第四步，把切好的长条生片用小毛笔轻轻排在一块单面陶瓷板上，将另外一块陶瓷板盖放在上层，放入石英管式烧结炉的恒温区，温度设定为1100℃±2℃，保持时间为30分钟；选择表面无裂纹、孔洞的红外灵敏元薄片，固定于第一压板上表面的凹槽内；之后将第二压板盖合于所述第一压板的上表面，获得待加工工件；步骤(2)将步骤(1)所得加工工件置于石墨炉中，向石墨炉中通入惰性气体增压，并将压力增加至90MPa±5MPa，随后，石墨炉从室温逐渐升温至800℃±20℃，升温速率为1～6℃/min，此时压力也升至130MPa±5MPa，最后按照2～3℃/min速率逐步降温到室温；待第一压板和第二压板恢复到常温、常压后打开样品室，取出灵敏元薄片，即完成致密化处理。