[发明专利]一种无裂纹氢化钛电极源片的制备工艺

摘要

本发明公布了一种无裂纹氢化钛电极源片的制备工艺，包括（a）采用金属钛作为原料制造电极源片工件，并对其表面进行预处理；（b）将步骤（a）得到的预处理电极源片工件在真空下进行高温退火；（c）将退火后的电极源片工件进行吸氢反应；（d）设置降温曲线使得吸氢反应进行一定时间，将吸氢后的工件进行冷却至室温，得到成品电极源片。本发明生产出的电极源片表面均匀的氢化层没有宏观裂纹，在强磁脉冲放电的情况下，各个部位的氢化层受到的外部冲击是一样的，不会发生并形成喷裂，大大提升了产品的放电稳定性，也极大地延长了电极源片的寿命。

主权项

一种无裂纹氢化钛电极源片的制备工艺，其特征在于包括以下步骤：（a）采用金属钛作为原料制造电极源片工件，并对其表面进行预处理；（b）将步骤（a）得到的预处理电极源片工件在真空下进行高温退火；（c）将退火后的电极源片工件进行吸氢反应；（d）设置降温曲线使得吸氢反应进行一定时间，将吸氢后的工件进行冷却至室温，得到成品电极源片；所述步骤（b）包括以下步骤：（b1）将电极源片工件放入真空腔体并抽真空，真空腔室内的真空度小于2×10‑4pa；（b2）设置升温曲线，并按照升温曲线将工件加热至一定温度进行放气；所述步骤（b2）升温曲线中的升温速率范围5 ~10℃/min；所述步骤（b2）升温曲线中每升温100℃，保持温度稳定5~20min；所述步骤（b2）升温曲线中最高放气温度范围为700~800℃；所述（c）是将温度降至420~520℃后，关闭真空泵抽气口并充入氢气，进行吸氢反应；所述（c）中吸氢反应的压力范围为‑50~100kPa；所述步骤（d）的降温过程中，降温速率范围0.5 ~3℃/min；所述步骤（d）的降温过程中，每降温20~60℃，保持温度稳定10~20min；所述步骤（d）的吸氢过程中，吸氢时间范围为100~180min；所述步骤（d）的吸氢过程中，吸氢反应结束的温度范围为380~420℃。