[发明专利]一种三自由度大行程柔性纳米定位平台

摘要

本发明公开了一种三自由度大行程柔性纳米定位平台，包括固定底座，所述固定底座上设置有运动平台，所述运动平台包括基座，基座的中部设置有终端平台，所述运动平台还包括四个呈中心对称分布的X向柔性解耦件及四个呈中心对称分布的Y向柔性解耦件，第二X向柔性解耦件、第四X向柔性解耦件、第一Y向柔性解耦件及第三Y向柔性解耦件中分别内置有X向驱动器X1、X向驱动器X2、Y向驱动器Y1及Y向驱动器Y2。本发明具有结构紧凑，采用音圈电机驱动器内置于双级π型板簧中，大大减小了整个纳米柔性平台的尺寸，极大提高输出位移空间与平台空间的占比。

主权项

一种三自由度大行程柔性纳米定位平台，其特征是，包括固定底座，所述固定底座上设置有运动平台，运动平台总体呈旋转布局结构，所述运动平台包括基座，基座的中部设置有终端平台，所述运动平台还包括第一X向柔性解耦件、第二X向柔性解耦件、第三X向柔性解耦件、第四X向柔性解耦件、第一Y向柔性解耦件、第二Y向柔性解耦件、第三Y向柔性解耦件及第四Y向柔性解耦件；所述第一X向柔性解耦件与第三X向柔性解耦件相对于运动平台中心对称；所述第二X向柔性解耦件与第四X向柔性解耦件相对于运动平台中心对称；所述第一Y向柔性解耦件与第三Y向柔性解耦件相对于运动平台中心对称，所述第二Y向柔性解耦件与第四Y向柔性解耦件相对于运动平台中心对称；第二X向柔性解耦件、第四X向柔性解耦件、第一Y向柔性解耦件及第三Y向柔性解耦件中分别内置有对应的X向驱动器X1、X向驱动器X2、Y向驱动器Y1及Y向驱动器Y2。