[发明专利]避免边缘长瘤的靶材结构有效
| 申请号： | 201510278546.8 | 申请日： | 2015-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN106282940B | 公开（公告）日： | 2018-11-27 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;李小萍 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 高静;吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种避免边缘长瘤的靶材结构，包括：靶材，包括与带电粒子发生碰撞的溅射面，所述溅射面的尺寸与所述带电粒子束宽相当；背板，用于固定所述靶材。本发明通过使所述溅射面尺寸与所述带电粒子束宽相当，使所述靶材结构的溅射面位于带电粒子撞击密度较大的中心区域，从而提高所述溅射面边缘位置受到溅射的几率，使位于边缘位置的残留物能够在溅射过程中被去除，避免了残留物在溅射过程中脱落损伤基底的可能，从而能够提高半导体器件制造的良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 避免 边缘 结构 | ||
【主权项】：
1.一种避免边缘长瘤的靶材结构，其特征在于，包括：靶材，包括与带电粒子发生碰撞的溅射面，所述溅射面的尺寸与所述带电粒子束宽相当；具体为：所述靶材的溅射面为圆形，所述溅射面的直径在302.68mm到302.94mm范围内；在溅射过程中，所述带电粒子在直径302.81mm的圆形范围内与所述溅射面发生碰撞；背板，用于固定所述靶材。
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