[发明专利]用于半导体光刻的光源灯室以及设备机柜

摘要

本发明通过将汞灯两极浸入在冷凝液中，同时隔热罩内填充冷凝液，冷凝液吸收热量使得蒸发为气体，并被分别排至第一冷凝器和第二冷凝器，被冷凝为液体传输回汞灯继续用于散热，本发明是用冷凝液吸收汞灯所散发的热量转化为气体，方法简单有效，能够使冷凝液循环利用，散热充分。此外将与阳极蒸气管和阳极回液管道连接的冷凝器或者换热器放置于设备机柜内的第一腔室内，排入第一腔室内的空气吸收冷凝器或者换热器中气体冷凝为液体时所散发的热量从而温度升高至正常工作温度，被排至工件台、激光干涉仪周围，使得工件台与激光干涉仪的工作环境温度恒定，节约了成本。

主权项

1.一种用于半导体光刻的光源灯室，其特征在于，包括主灯室与辅灯室，主灯室外壳为主灯室罩壳，内部包括被隔热罩包裹的汞灯以及位于汞灯上方的冷光镜，所述汞灯包括灯泡、阳极、阴极以及椭球反射镜，所述主灯室罩壳在所述冷光镜反射光路处设置出光口，所述汞灯灯光经过所述冷光镜反射后经所述出光口输出，辅灯室外壳为辅灯室罩壳，内部包括阳极回液箱、阴极回液箱、第一冷凝器、第二冷凝器，所述阳极浸入在阳极蒸发锅的冷凝液中，所述阳极蒸发锅与所述第一冷凝器、阳极回液箱形成阳极闭环管道回路，所述阴极浸入在阴极蒸发锅的冷凝液中，所述阴极蒸发锅与所述第二冷凝器、阴极回液箱形成阴极闭环管道回路，所述阳极闭环管道回路和所述阴极闭环管道回路为共同存在或者只存在所述阳极闭环管道回路或者只存在所述阴极闭环管道回路，所述阳极蒸发锅和/或阴极蒸发锅中的冷凝液吸收所述汞灯的热量蒸发为气体并被分别排至第一冷凝器和/或第二冷凝器中，直至冷凝为液体后被重新排入所述阳极蒸发锅和/或阴极蒸发锅中冷却所述汞灯。