[发明专利]应用于运动台的力矩补偿装置及方法有效
| 申请号： | 201510268937.1 | 申请日： | 2015-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN106292190B | 公开（公告）日： | 2019-01-29 |
| 发明（设计）人： | 钟亮;季采云;徐士龙;胡月 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种应用于运动台的力矩补偿装置及方法，该应用于工件台的力矩补偿装置包括：真空气浮块，设置在运动台的X向运动模块和Y向运动模块上；真空泵，与所述真空气浮块连通，用于在所述真空气浮块中产生负压；风机，与所述真空气浮块连通，用于在所述真空气浮块中产生正压；以及控制器，控制所述真空泵和风机动作。本发明通过将真空气浮块安装在运动台上，使其一端产生正压，一端产生负压，两者合成力矩抵消运动台运动过程中产生的力矩，保证气膜厚度，进而补偿运动台的偏心力矩和惯性力矩，避免运动台重心变化导致的气膜挤压。 | ||
| 搜索关键词： | 应用于 运动 力矩 补偿 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种应用于运动台的力矩补偿装置，其特征在于，包括：真空气浮块，设置在运动台的X向运动模块和Y向运动模块上；真空泵，与所述真空气浮块连通，用于在所述真空气浮块中产生负压；风机，与所述真空气浮块连通，用于在所述真空气浮块中产生正压；以及控制器，控制所述真空泵和风机动作。
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