[发明专利]一种物镜内部温度分布和应变测量系统及其测量方法有效
| 申请号： | 201510268845.3 | 申请日： | 2015-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN106197738B | 公开（公告）日： | 2018-12-14 |
| 发明（设计）人： | 梁任成 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01K11/32 | 分类号： | G01K11/32;G01B11/16 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种物镜内部温度分布和应变测量系统及其测量方法，该系统包括：若干光纤、设于每根光纤内的若干布拉格光栅组、与光纤对应设置的光源和光谱分析仪，光纤设于镜筒内壁和/或镜片表面，且两端伸出镜筒外连接光源和光谱分析仪，若干布拉格光栅组的中心波长不同。本发明通过在光纤内设置若干布拉格光栅组，同时在光纤上连接光源和光谱分析仪，不仅可以实时测量物镜内不同位置的温度变化，最终得到整体的温度分布情况，且根据光谱分析仪中得到的光波数据进行计算，避免了由于装配、环境、应力等问题而带来的测量误差，提高了系统的测量精确度和稳定性，对后期温控补偿或成像质量的分析提供更完善的依据，提高了光刻机的成像质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 物镜 内部 温度 分布 应变 测量 系统 及其 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种物镜内部温度分布和应变测量系统，其特征在于，包括：物镜，包括镜筒和镜片，所述物镜内部具有温度分布，对应所述镜筒和所述镜片应力形变；测量装置，用于同时测量所述物镜单元内部的温度分布，及所述镜筒和/或镜片的应力形变，所述测量装置包括若干光纤、设于每根所述光纤内的若干布拉格光栅组，所述光纤设于镜筒内壁和/或镜片表面，若干所述布拉格光栅组的中心波长不同。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司，未经上海微电子装备（集团）股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510268845.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
