[发明专利]浸渍提拉法和双离子束溅射法联合制备金属薄膜复合电极的方法

摘要

本发明公开了一种浸渍提拉法和双离子束溅射法联合制备金属薄膜复合电极的方法，应用于电极材料制作领域。本发明采用浸渍提拉法制备中间层，鼓风干燥后500‑600℃煅烧1‑3h。再将其放入双离子束溅射仪中，溅射生长Cu纳米薄膜，快速退火后即可。此制备方法工艺简单，所需试剂量较少，活性层为纳米级Cu薄膜，性能稳定，电容量大，可以快速有效降解印染废水。

主权项

一种浸渍提拉法和双离子束溅射法联合制备金属薄膜复合电极的方法，其特征在于，包括如下步骤：a. 钛基体预处理：采用纯钛板作为钛基体，用抛光机将纯钛板表面抛光后，将纯钛板浸没在质量浓度为5~10％的NaOH溶液中加热1~2h进行除油，再将纯钛板浸没在质量浓度为5~20％的草酸中，在草酸微沸状态下处理1~3h，然后用去离子水冲洗干净纯钛板的表面，再将纯钛板浸泡在乙醇中备用；b. 中间层涂液的制备：按照不同中间层组分金属元素摩尔质量比为Sn:Sb:Mn:Ni:Cu=100:1:1:1:0.5~100:1:2:2:5的比例，或者按照Sn:Sb:Mn:Ce=100:1:1:1~100:1:2:5的比例，分别对应称取一定量四氯化锡、三氯化锑、锰盐、镍盐、铜盐和铈盐中的盐物质作为中间层组分金属元素的盐，然后一并溶于正丁醇中，再加酸调节pH为1~3，同时超声振荡0.5~1h，使溶液混合均匀，得到中间层涂液；c. 浸渍提拉法制取中间层：将经过所述步骤a处理后的纯钛板置入在所述步骤b中制备的中间层涂液中，浸泡1~10min后将纯钛板缓慢匀速提出，使纯钛板表面附着一层金属液膜，然后将表面附着金属液膜的纯钛板挂在鼓风干燥箱中，从60~80℃逐渐升温至120℃烘干8min，再重复本步骤1~5次后，将附着金属液膜的纯钛板移入马弗炉中在500~600℃条件下煅烧1~3h，使金属液膜固化形成中间层与纯钛板结合形成钛电极板，然后将钛电极板自然冷却至室温；d. 双离子束溅射法制取活性层：将经过所述步骤c处理的钛电极板放入双离子束溅射仪中，以硅片为衬底，在钛电极板表面上通过双离子束溅射生长Cu纳米薄膜，作为活性层，然后将钛电极板放入快速退火炉中，对Cu纳米薄膜进行退火，退火温度为350℃，使Cu纳米薄膜通过中间层与钛基体形成复合电极。