[发明专利]真空灭弧室非接触真空度在线监测装置及其监测方法在审

专利信息
申请号: 201510263264.0 申请日: 2015-05-21
公开(公告)号: CN104882329A 公开(公告)日: 2015-09-02
发明(设计)人: 王彬;蒙林;李海龙;袁学松;殷勇 申请(专利权)人: 电子科技大学
主分类号: H01H33/668 分类号: H01H33/668
代理公司: 四川君士达律师事务所 51216 代理人: 芶忠义
地址: 611731 四川省成*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明公开了一种真空灭弧室非接触真空度在线监测装置及其方法,包括扫频信号源,扫频信号源与功率分配器连接,功率分配器输出连接两路,一路由发射天线、待测真空灭弧室、接收天线传感器、探测器与网络分析仪连接,功率分配器输出的另一路依次连接探测器、网络分析仪,网络分析仪与数据采集分析处理单元连接。能同时实现真空灭弧室在线主动检测和真空灭弧室内真空度的被动在线检测。克服了传统离线检测的缺陷,同时也减少测量过程误差和实际工作环境误差。
搜索关键词: 真空 灭弧室非 接触 在线 监测 装置 及其 方法
【主权项】:
一种真空灭弧室非接触真空度在线监测装置,其特征在于,包括扫频信号源(1),扫频信号源(1)与功率分配器(2)连接,功率分配器(2)输出连接两路,一路由发射天线(3)、待测真空灭弧室(4)、接收天线传感器(5)、探测器(6)与网络分析仪(7)连接,功率分配器(2)输出的另一路依次连接探测器(6)、网络分析仪(7),网络分析仪(7)与数据采集分析处理单元(8)连接。
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