[发明专利]一种金属网栅频率选择表面结构及制作方法

摘要

一种金属网栅频率选择表面结构及制作方法属于光学窗技术领域；所述频率选择表面结构包括衬底，分布在衬底上的表面具有周期开孔阵列的透明网栅膜；制作方法首先在衬底上表面制作频率选择表面谐振单元掩模结构；并采用旋涂法涂覆含有水性丙烯酸树脂的裂纹甲油，形成掩模层薄膜；然后在特定条件下，将掩模液自然干燥形成裂纹模板；再在裂纹模板的表面沉积导电金属层；最后依次溶解裂纹模板、去除频率选择表面谐振单元掩模结构，得到金属网栅频率选择表面结构；本发明不仅避免因金属线宽增加而降低光学窗透光性能的问题，而且避免传统机械摩擦方式同时降低光学窗的透光性能和电磁屏蔽性能，还给出了解决高级次衍射能量分布不均匀问题的具体加工条件。

主权项

一种金属网栅频率选择表面结构，其特征在于，包括衬底(1)，分布在衬底(1)上的透明网栅膜(2)，所述的透明网栅膜(2)表面具有周期开孔阵列(3)；所述的透明网栅膜(2)的形状为20～25℃温度和50～80％RH湿度条件下，含有丙烯酸树脂的裂纹甲油自然干燥形成的图形；所述的周期开孔阵列(3)内部，具有以下两种结构中的一种：结构一、不含有透明网栅膜(2)；结构二、含有透明网栅膜(2)，孔内的透明网栅膜(2)和孔外的透明网栅膜(2)不连通。