[发明专利]一种用于面内应变传感的各向异性薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 201510262464.4 | 申请日： | 2015-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN104851968A | 公开（公告）日： | 2015-08-19 |
| 发明（设计）人： | 宋明;徐彤 | 申请（专利权）人： | 中国特种设备检测研究院 |
| 主分类号： | H01L41/08 | 分类号： | H01L41/08;G01B7/16 |
| 代理公司： | 北京永创新实专利事务所 11121 | 代理人： | 姜荣丽 |
| 地址： | 100013 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于面内应变传感的各向异性薄膜及其制备方法，采用射频磁控溅射方法，在高分子柔性衬底上依次制备底电极层、各向异性薄膜层和顶电极层，测量时，电流沿顶电极层和底电极层从各向异性薄膜层厚度方向流过，实现对平行于各向异性薄膜层方向的变形进行测量。本发明以材料压电压阻传感原理代替欧姆定律，平面内布置的电极变为上下布置，利于传感单元的高密度集成；灵敏度明显优于目前的商用金属薄膜应变片；微加工工艺简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 应变 传感 各向异性 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种用于面内应变传感的各向异性薄膜的制备方法，其特征在于：步骤1：将绝缘的高分子柔性衬底放置在磁控溅射真空腔室衬底托盘的加热器上加热至预设的温度；步骤2：在绝缘的高分子柔性衬底上使用氩气等离子体和氧气等离子体进行溅射轰击；步骤3：在溅射轰击后的高分子柔性衬底上使用射频磁控溅射方法溅射底电极层；步骤4：在底电极层表面溅射各向异性薄膜层；步骤5：在各向异性薄膜层表面溅射顶电极层。
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