[发明专利]基于三维网络结构敏感薄膜的柔性气体传感器及制备方法在审
| 申请号： | 201510257321.4 | 申请日： | 2015-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN104865293A | 公开（公告）日： | 2015-08-26 |
| 发明（设计）人： | 谢丹;李娴;戴睿轩;徐建龙;滕长久;李志鑫;杨埔 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 廖元秋 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于三维网络敏感薄膜的柔性气体传感器件及其制备方法，属于敏感电子学和柔性电子学领域。该传感器件包括：根据制备顺序依次层叠的柔性衬底层，叉指电极层和三维网络结构敏感薄膜层；制备方法主要包括柔性叉指电极器件制备，制备传感器件所需膜层材料，采用气喷成膜工艺制备三维网络结构敏感薄膜器件。本发明的优点在于利用柔性衬底对三维网络结构敏感薄膜的延伸性，进一步提高敏感薄膜对气体的响应性能，同时工艺简单，成本低，所制备的传感器件可用于气体检测领域。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 三维 网络 结构 敏感 薄膜 柔性 气体 传感器 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种基于三维网络结构敏感薄膜的柔性气体传感器，该传感器包括：根据制备顺序依次层叠的柔性衬底，叉指电极层，三维网络结构敏感薄膜层；其特征在于，所述的柔性衬底厚度为100～200um，透光率≥70～80％，衬底采用聚对苯二甲酸类塑料(PET)、聚酰亚胺(PI)、聚二甲基硅氧烷(PDMS)以及聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)之中的任一种材料。
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