[发明专利]有效线宽自动测试系统及自动测试方法在审
| 申请号： | 201510233771.X | 申请日： | 2015-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN104808160A | 公开（公告）日： | 2015-07-29 |
| 发明（设计）人： | 赵勇;石成玉;罗建成 | 申请（专利权）人： | 西南应用磁学研究所 |
| 主分类号： | G01R33/12 | 分类号： | G01R33/12 |
| 代理公司： | 深圳市科吉华烽知识产权事务所(普通合伙) 44248 | 代理人： | 胡吉科 |
| 地址： | 621000 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及测量技术领域，其公开了一种有效线宽自动测试系统， 包括样品及支撑结构、谐振腔、偏置磁场、网络特性分析仪、测量偏置磁场大小的特斯拉计、控制器、数据总线; 网络分析仪、特斯拉计和偏置磁场与所述控制器连接；所述样品及支撑结构和谐振腔位于所述偏置磁场中。本发明的有益效果是：通过自动控制实现测试过程全自动化,有利于提高工作效率，具有很强的实用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 有效 自动 测试 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种有效线宽自动测试系统，其特征在于: 包括样品及支撑结构（1）、谐振腔（2）、偏置磁场（3）、网络特性分析仪（4）、测量偏置磁场大小的特斯拉计（5）、控制器（6）、数据总线（8）; 网络特性分析仪（4）、特斯拉计（5）和偏置磁场（3）与所述控制器（6）连接；所述样品及支撑结构（1）和谐振腔（2）位于所述偏置磁场（3）中。
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