[发明专利]一种空间三维移动全柔顺并联微动平台

摘要

本发明公开了一种空间三维移动全柔顺并联微动平台，包括基平台、动平台、三个PUU型全柔顺支链和分别安装在所述三个分支上的三个压电陶瓷驱动器；其中PUU支链包含柔性平行板移动副、两个柔性虎克铰，压电陶瓷为带有位置检测的压电陶瓷；三个分支互相正交，安装于所述基平台上并与动平台连接，全柔顺并联支链结构是在整块弹性钢板上经线切割形成；动平台能实现沿X、Y、Z坐标轴的平移。通过三支链正交布置，能实现运动解耦，在某个分支上加载位移，就能控制动平台对应方向上的运动输出，克服了常规三分支三维移动并联微动机构运动耦合问题，具有结构简单、支链结构对称、容易加工、控制算法简单、动态特性好等特点。

主权项

一种空间三维移动全柔顺并联微动平台，其特征在于：包括基平台、动平台、三个PUU型全柔顺支链和分别安装在所述三个支链上的三个压电陶瓷驱动器；三个分支链互相正交，安装在所述基平台上并与动平台连接；全柔顺并联支链是由整块材料经线切割形成，使其成为在整体结构上集成有多个柔性运动副的柔顺支链；所述PUU支链包括柔性平行板移动副、两个柔性虎克铰，柔性平行板移动副连接在基平台上，柔性平行板移动副的另一端通过连杆与柔性虎克铰连接，同时柔性虎克铰通过中间连杆与另一柔性虎克铰连接，最终将运动传递至动平台。