[发明专利]一种高透光导电玻璃及其制备方法

摘要

本发明适用于特种玻璃领域，提供了一种高透光导电玻璃。该导电玻璃包括依次层叠的减反射涂层、玻璃基底、增透涂层、AZO膜层。本发明通过在玻璃基底的两面覆盖减反射涂层和增透涂层，使导电玻璃的光学透过率增加；且与AZO膜层接触的增透涂层具有岛状形貌，接下来作为后续AZO薄膜(掺铝的氧化锌)生长的基底，可直接形成表面具有一定绒度的AZO薄膜，免去常规工艺中的酸刻蚀制绒过程，降低了所需的初始薄膜厚度，以及生产成本造成本。

主权项

1.一种高透光导电玻璃的制备方法，其特征在于包括依次层叠的减反射涂层(1)、玻璃基底(2)、增透涂层(3)、AZO膜层(4)，包括以下几个步骤：(1)采用磁控溅射技术，靶材选择氧化硅或氧化铌或氧化钛靶，溅射制备减反射涂层，厚度为20‑50nm；(2)将硅酸乙酯及其辅料，溶解到水中，以酸为催化剂，搅拌1个小时，形成镀膜液；采用溶胶‑凝胶的方法将镀膜液均匀涂覆到玻璃的另一侧，自然风干；(3)然后将玻璃放进磁控溅射设备中，在温度为200度，真空度为10‑2pa的环境中固化1小时，即得到增透涂层，同时在玻璃基片表面形成一定织构的绒面结构；(4)采用直流磁控溅射工艺直接在绒面结构的玻璃表面上镀厚度为600‑700纳米的AZO薄膜，得到与玻璃基片表面绒面结构一致的绒面AZO透明导电膜。