[发明专利]感光性树脂组合物、以及感光性元件、抗蚀剂图案的形成方法和印刷线路板的制造方法

摘要

本发明涉及感光性树脂组合物、以及感光性元件、抗蚀剂图案的形成方法和印刷线路板的制造方法。本发明涉及一种感光性树脂组合物，其是含有(A)粘合剂聚合物、(B)光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂和(D)敏化色素的感光性树脂组合物，所述(A)粘合剂聚合物具有基于(甲基)丙烯酸的结构单元、以及基于(甲基)丙烯酸苄酯或(甲基)丙烯酸苄酯衍生物的结构单元，所述(B)光聚合性化合物包含分别以下述通式(2)或下述通式(3)表示的化合物，所述(D)敏化色素包含下述通式(1)所示的化合物。

主权项

一种感光性树脂组合物，是含有(A)粘合剂聚合物、(B)光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂和(D)敏化色素的感光性树脂组合物，所述(A)粘合剂聚合物具有基于(甲基)丙烯酸的结构单元、以及基于(甲基)丙烯酸苄酯或(甲基)丙烯酸苄酯衍生物的结构单元，所述(B)光聚合性化合物包含分别以下述通式(2)或下述通式(3)表示的化合物，所述(D)敏化色素包含下述通式(1)所示的化合物，[化1]式(1)中，R¹和R²各自独立地表示取代或未取代的苯基、噻吩基或呋喃基，R³表示碳原子数1～10的烷基、碳原子数1～10的烷氧基或碳原子数1～10的烷基酯基，a和b各自独立地表示0～2的整数，m表示0～5的整数，在m为2～5的情况下，存在的多个R³彼此既可以相同也可以不同，[化2]式(2)中，R⁴表示氢原子或甲基，R⁵表示氢原子、甲基或卤代甲基，R⁶表示碳原子数1～6的烷基、碳原子数1～6的烷氧基、羟基或卤原子，p表示1～4的整数，n表示0～4的整数，在n为2～4的情况下，存在的多个R⁶既可以相同也可以不同，[化3]式(3)中，R⁷表示氢原子或甲基，R⁸表示碳原子数1～12的烷基、碳原子数1～12的烷氧基、羟基或卤原子，r表示1～12的整数，k表示0～5的整数，在k为2～5的情况下，存在的多个R⁸既可以相同也可以不同。