[发明专利]具备送风机的激光振荡器

摘要

本发明提供一种具备送风机的激光振荡器。提供一种可更廉价且更高精度地推定出空转状态的送风机的转速的激光振荡器。激光振荡器具备谐振器部、激光介质流路、送风机、驱动部、控制部、用于测量激光介质流路的预先决定的位置的激光介质的压力的压力计、根据压力计测量出的激光介质的压力、位置的激光介质的压力与送风机的转速的预先决定的关系来推定送风机的转速的转速推定部。当向送风机的电力供给停止而送风机进行空转时，控制部对驱动部进行控制，以便以转速推定部推定出的转速重新开始送风机的运转。

主权项

一种激光振荡器，其特征在于，具备：谐振器部，其生成激光；激光介质流路，其向所述谐振器部导入激光介质，并且从该谐振器部排出该激光介质；送风机，其使所述激光介质在所述激光介质流路中流动；驱动部，其驱动所述送风机；控制部，其控制所述驱动部；压力计，其测量所述激光介质流路的预先决定的一处位置的所述激光介质的压力；以及转速推定部，其根据所述位置的所述激光介质的压力与所述送风机的转速之间的预先决定的关系、所述压力计测量出的所述激光介质的压力，来推定所述送风机的转速，当停止向所述送风机的电力供给，所述送风机进行空转时，所述控制部对所述驱动部进行控制，以便以所述转速推定部推定出的所述转速重新开始所述送风机的运转。