[发明专利]一种耐温耐压高真空阀

摘要

本发明公开一种耐温耐压高真空阀，包括由不锈钢制成的阀壳，所述阀壳底面和其中一侧面靠近底面的位置分别设有提纯罐连接口和真空系统连接口，所述提纯罐连接口和真空系统连接口处均设有用于密封的氟胶圈，所述提纯罐连接口内设有冷却水环，所述阀壳内设有带水冷环的阀板，所述阀板下表面设有下氟胶圈，所述阀体顶部开口处设有阀盖，所述阀盖上表面设有气缸，所述气缸的活塞杆穿过阀盖与阀板连接。本发明既能满足高真空的密封要求又能耐600℃及两个大气压。

主权项

一种耐温耐压高真空阀，其特征在于：包括由不锈钢制成的阀壳（1），所述阀壳（1）底面和其中一侧面靠近底面的位置分别设有提纯罐连接口（9）和真空系统连接口（10），所述提纯罐连接口（9）和真空系统连接口（10）处均设有用于密封的氟胶圈，所述提纯罐连接口（9）内设有冷却水环，所述阀壳（1）内设有带水冷环的阀板（3），所述阀板（3）下表面设有下氟胶圈（2），所述阀体顶部开口处设有阀盖（7），所述阀盖（7）上表面设有气缸（8），所述气缸（8）的活塞杆穿过阀盖（7）与阀板（3）连接，所述活塞杆处于伸出状态时阀板（3）与阀壳（1）密封连接，所述阀盖（7）与阀板（3）之间设有冷却水管（5），所述冷却水管（5）其中一端与阀板（3）连通，所述冷却水管（5）另一端穿过阀盖（7）与外部连通，所述冷却水管（5）为两条，所述两条冷却水管（5）围绕活塞杆螺旋分布，所述阀盖（7）和阀板（3）之间还设有与之密封连接的焊接波纹管（4），所述阀盖（7）与焊接波纹管（4）之间设有上氟胶圈（6）。