[发明专利]脆性物件切断装置及其切断方法

摘要

本发明提供一种脆性物件切断装置及其切断方法，其中，所述脆性物件切断装置包含第一加热激光单元、第二加热激光单元、切口激光单元、冷却单元及处理模块。在脆性物件的表面上，两个加热激光单元的加热光束分别位于切口激光单元的切口光束的两侧，而冷却单元的冷却液跟随在加热光束之后。在脆性物件的一次移动行程中，处理模块控制切口光束进行切口作业，且控制其中一加热光束及冷却单元的冷却液对脆性物件进行加热与冷却。本发明借此可节省切断脆性物件的作业时间。

主权项

一种脆性物件切断装置，应用于切断脆性物件，包含：切口激光单元，被配置以发出切口光束，以作用于脆性物件；第一加热激光单元，被配置为发出第一加热光束；第二加热激光单元，被配置为发出第二加热光束，且所述第一加热光束、所述第二加热光束及所述切口光束作用于所述脆性物件时，所述第一加热光束及所述第二加热光束分别位于所述切口光束的两侧；两个冷却单元，被配置为提供冷却液，以冷却所述脆性物件，其中，一个冷却单元位于所述第一加热光束的一侧，且相对于该切口光束，以在所述第一加热光束之后冷却所述脆性物件，另一冷却单元位于所述第二加热光束的一侧，且相对于该切口光束，以在所述第二加热光束之后冷却所述脆性物件；以及处理模块，被配置为：选择性地控制所述切口激光单元、所述第一加热激光单元及所述冷却单元，以在一个加工行程中，使所述切口光束、所述第一加热光束及所述冷却液依序地沿着所述脆性物件的多个分离线中的一个进行切断加工，且所述第一加热光束与所述冷却液同时进行作业；或者选择性地控制所述切口激光单元、所述第二加热激光单元及所述冷却单元进行加工作业，以在一个加工行程中，使所述切口光束、所述第二加热光束及所述冷却液依序地沿着所述脆性物件的多个分离线中的一个进行切断加工，且所述第二加热光束与所述冷却液同时进行作业。