[发明专利]基于SOI衬底的单杂质原子无结硅纳米线晶体管及制备方法在审
| 申请号： | 201510192461.8 | 申请日： | 2015-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN104867834A | 公开（公告）日： | 2015-08-26 |
| 发明（设计）人： | 王昊;韩伟华;杨富华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H01L21/336 | 分类号： | H01L21/336;H01L29/775 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种基于SOI衬底的单杂质原子无结硅纳米线晶体管及制备方法，其中基于SOI衬底的单杂质原子无结硅纳米线晶体管，包括：一SOI衬底；一源区，其位于SOI衬底上面的一侧；一漏区，其位于SOI衬底上面的另一侧；一硅纳米线，该硅纳米线位于SOI衬底上，该硅纳米线连接源区与漏区；一绝缘介质薄膜层，该绝缘介质薄膜层制作于该硅纳米线以及源区、漏区的表面；一多晶硅栅条，该栅条制作于源区与漏区之间的硅纳米线上及两侧，并垂直于硅纳米线，在多晶硅栅条的两侧暴露出部分绝缘介质薄膜层；一源电极制作于源区上；一漏电极制作于漏区上；以及一栅电极制作于栅条上。本发明具有结构简化和实现了离子注入数目的精确控制。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 soi 衬底 杂质 原子 无结硅 纳米 晶体管 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种基于SOI衬底的单杂质原子无结硅纳米线晶体管，包括：一SOI衬底；一源区，该源区是通过刻蚀SOI衬底的顶层硅得到，其位于SOI衬底上面的一侧；一漏区，该漏区是通过刻蚀SOI衬底的顶层硅得到，其位于SOI衬底上面的另一侧；一硅纳米线，该硅纳米线位于SOI衬底上，该硅纳米线连接源区与漏区；一绝缘介质薄膜层，该绝缘介质薄膜层制作于该硅纳米线以及源区、漏区的表面；一多晶硅栅条，该栅条制作于源区与漏区之间的硅纳米线上及两侧，并垂直于硅纳米线，在多晶硅栅条的两侧暴露出部分绝缘介质薄膜层；一源电极，该源电极制作于源区上；一漏电极，该漏电极制作于漏区上；以及一栅电极，该栅电极制作于栅条上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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