[发明专利]一种柔性微压力传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201510191048.X | 申请日： | 2015-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN104803339A | 公开（公告）日： | 2015-07-29 |
| 发明（设计）人： | 林媛;黄振龙;高敏;颜卓程;潘泰松 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 李明光 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种柔性微压力传感器及其制备方法，属于微压力传感器制备领域。所述柔性微压力传感器包括具有正四棱锥微结构的柔性衬底和位于柔性衬底之上的导电层、柔性耦合电极，所述柔性衬底为具有正四棱锥微结构的聚二甲基硅氧烷，所述导电层为单壁碳纳米管，所述柔性耦合电极为带氧化铟锡导电层的聚对苯二甲酸乙二醇酯。本发明采用具有正四棱锥微结构的下电极，由于在压力作用下，正四棱锥微结构的形变非常明显，这就使得传感器对微压力的响应更灵敏；采用单壁碳纳米管作为导电层，对可见光透明，且在传感器拉伸或弯曲过程中不易损坏，稳定性好；采用聚二甲基硅氧烷作为下电极衬底，柔性好，可弯曲和拉伸。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种柔性微压力传感器，包括柔性衬底和位于柔性衬底之上的导电层、柔性耦合电极，其特征在于，所述柔性衬底具有正四棱锥微结构。
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