[发明专利]具有清晰端点检测窗的化学机械抛光垫在审
| 申请号： | 201510184447.3 | 申请日： | 2015-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN105033841A | 公开（公告）日： | 2015-11-11 |
| 发明（设计）人： | B·钱;M·W·格鲁特 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司;陶氏环球技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/24 | 分类号： | B24B37/24;B24B37/013 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈哲锋;江磊 |
| 地址： | 美国特*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供一种化学机械抛光垫，其含有具有抛光表面的抛光层；和端点检测窗；其中所述端点检测窗包含包括以下的成分的反应产物：具有5.5到9.5重量％的未反应的NCO基团的异氰酸酯封端的氨基甲酸酯预聚物，其中所述异氰酸酯封端的氨基甲酸酯预聚物是包含以下的成分的反应产物：脂肪族多官能异氰酸酯；和预聚物多元醇；和固化剂系统，其包含：0到99重量％的双官能固化剂；和1到100重量％的胺起始的多元醇固化剂，其每分子具有至少一个氮原子并且每分子具有平均至少三个羟基。还提供制造和使用所述化学机械抛光垫的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 清晰 端点 检测 化学 机械抛光 | ||
【主权项】：
一种化学机械抛光垫，其包含：具有抛光表面的抛光层；和端点检测窗；其中所述端点检测窗包含包括以下的成分的反应产物：(i)具有5.5到9.5重量％的未反应的NCO基团的异氰酸酯封端的氨基甲酸酯预聚物，其中所述异氰酸酯封端的氨基甲酸酯预聚物是包含以下的成分的反应产物：(a)脂肪族多官能异氰酸酯；和(b)预聚物多元醇；和(ii)固化剂系统，其包含：0到99重量％的双官能固化剂；和1到100重量％的胺起始的多元醇固化剂，其每分子具有至少一个氮原子并且每分子具有平均至少三个羟基。
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