[发明专利]LED光源曝光装置有效
申请号: | 201510173259.0 | 申请日: | 2015-04-14 |
公开(公告)号: | CN105045041B | 公开(公告)日: | 2017-06-23 |
发明(设计)人: | 金基洙 | 申请(专利权)人: | 株式会社菲尔光学 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 北京华夏博通专利事务所(普通合伙)11264 | 代理人: | 刘俊 |
地址: | 韩国京畿道水原*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明公开一种LED光源曝光装置,包括站台,用于放置涂布有感光物质的被处理基板;底板,形成为一侧面构成凹陷的曲面,形成有光轴孔;光源部,包括加装于底板并产生用于对感光物质进行曝光的光的多个LED灯;积分透镜,配置为使从光源部产生的光透过;平行光反射镜,使通过积分透镜的光转换成平行光,朝放置在站台的被处理基板反射;以及光轴调整器,对加装于底板另一侧面的各个光源部进行固定,根据旋转操作进行调节,使得光源部的光轴倾斜。因此,底板和光源部的镜筒被光轴调整器支撑,可以根据需要来操作光轴调整器的旋转把手,使光源部的光轴倾斜,使LED灯照射的光线准确地入射到积分透镜,从而使LED光源曝光装置的性能提高。 | ||
搜索关键词: | led 光源 曝光 装置 | ||
【主权项】:
一种LED光源曝光装置,其特征在于,包括:站台,其用于放置涂布有感光物质的被处理基板;底板,其形成为一侧面构成凹陷的曲面,形成有光轴孔;光源部,其包括:镜筒,其加装于所述底板的另一侧面;以及多个LED灯,其加装于所述镜筒的后方并产生用于对所述感光物质进行曝光的光;积分透镜,其配置为使从所述光源部产生的光透过;平行光反射镜,其使通过所述积分透镜的光转换成平行光,朝放置在所述站台的所述被处理基板反射;以及光轴调整器,其对加装于所述底板另一侧面的各个光源部进行固定,根据旋转操作进行调节,使得所述光源部的光轴倾斜,所述光轴调整器包括:贯通杆,其贯通所述底板和所述镜筒,向所述底板的一侧面形成有旋转把手;支撑架,其与所述贯通杆具有相同轴线,以螺纹结合,向所述镜筒的后方凸出,形成有支撑所述镜筒另一侧面的头部;以及弹性构件,其插入所述贯通杆,向所述底板与所述镜筒之间提供弹性反弹力。
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