[发明专利]一种低光学损耗的MEMS热光可调谐滤波器有效
| 申请号： | 201510167742.8 | 申请日： | 2015-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN104714311B | 公开（公告）日： | 2018-07-31 |
| 发明（设计）人： | 吴亚明;徐静;江火秀 | 申请（专利权）人： | 上海新微技术研发中心有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/01 | 分类号： | G02F1/01 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 201800 上海市嘉定*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种低光学损耗的MEMS热光可调谐滤波器，所述MEMS热光可调谐滤波器包括半波共振腔采用AlN或GaN热光可调介质薄膜材料的多腔光学干涉薄膜滤光层、以及微加热器，通过控制所述微加热器的工作电流，可以调节所述MEMS热光可调谐滤波器的中心波长。本发明采用AlN、GaN作为光学干涉薄膜中半波共振腔的腔体材料，其既具有较高的热光系数，又具有较低的消光系数，可以大幅度降低窄带可调谐滤波器的光学损耗。本发明可以有效改善现有MEMS热光调谐滤波器存在的光损耗大且滤波波形不能满足应用的问题，在光通信、光传感领域具有良好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 损耗 mems 热光可 调谐 滤波器 | ||
【主权项】：
1.一种低光学损耗的MEMS热光可调谐滤波器，其特征在于，所述MEMS热光可调谐滤波器包括多腔光学干涉薄膜滤光层、以及微加热器，通过控制所述微加热器的工作电流，可以调节所述MEMS热光可调谐滤波器的中心波长；其中，所述多腔光学干涉薄膜滤光层包括采用具有低消光系数的AlN或GaN热光可调介质薄膜材料的半波共振腔以及多层介质膜交替层叠而成，所述多层介质膜由高折射率介质膜及低折射率介质膜交替层叠而成；所述微加热器悬挂于所述多腔光学干涉薄膜滤光层的周围或上方，同时位于工作光束的光斑之外，以工作光束中心为对称点呈中心对称分布，所述微加热器为由金属膜条或半导体膜条制成的电阻加热器。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海新微技术研发中心有限公司，未经上海新微技术研发中心有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510167742.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种触控液晶显示面板及触控液晶显示装置
- 下一篇：一种可调谐三环级联滤波器
