[发明专利]一种极紫外激光的调Q装置

摘要

本发明涉及极紫外激光的调Q装置及其使用方法，包括光源，光源的一侧安装有分束片，驱动光束一侧安装有第一平移台，第一平移台内部安装有驱动透镜，第一平移台一侧安装有第一全反镜、第二全反镜和第三全反镜，第三全反镜下方安装有合束片；调Q光束一侧安装有第二平移台，第二平移台内部安装有调Q透镜，第二平移台的一侧安装有第四全反镜，第四全反镜的一侧安装有椭偏器，合束片的另一侧安装有气体盒，气体盒内有惰性气体，气体盒的内部还具有调Q焦点和驱动焦点，气体盒的外部安装有铝膜，铝膜的一侧为Q值可调的极紫外激光。本发明结构简单，操作简易，适用性强，不仅提供了极紫外激光输出的调Q新手段，而且将促进相关领域的深入发展。

主权项

1.一种极紫外激光的调Q装置，其特征在于：包括光源，所述光源的一侧安装有分束片，所述分束片将光源分成驱动光束和调Q光束，所述驱动光束的一侧安装有第一平移台，所述第一平移台内部安装有驱动透镜，第一平移台的一侧安装有第一全反镜，所述第一全反镜的下方安装有第二全反镜，所述第二全反镜的一侧安装有第三全反镜，所述第三全反镜的下方安装有合束片；所述调Q光束的一侧安装有第二平移台，所述第二平移台内部安装有调Q透镜，第二平移台的一侧安装有第四全反镜，所述第四全反镜的一侧安装有椭偏器，所述椭偏器位于合束片的一侧，所述合束片的另一侧安装有气体盒，所述气体盒内有惰性气体，气体盒的内部还具有调Q焦点和驱动焦点，气体盒的外部安装有铝膜，所述铝膜的一侧为Q值可调的极紫外激光，所述的气体盒、铝膜和极紫外激光均置于真空环境中；所述极紫外激光的调Q装置的使用方法包括以下步骤：（1）驱动光源，通过分束片将光源分成调Q光束和驱动光束；（2）调Q光束通过调Q透镜在气体盒内形成调Q焦点，所述调Q焦点的位置调节通过第二平移台改变调Q透镜的位置来实现，所述调Q光束通过椭偏器来调节椭偏度，抑制调Q光束自身的高次谐波辐射；（3）驱动光束通过驱动透镜在气体盒内形成驱动焦点，所述驱动焦点的位置调节通过第一平移台改变驱动透镜的位置来实现，使其正好位于气体盒的中间位置；（4）所述调Q光束的脉冲需要先于驱动光束的脉冲抵达气体盒，实现惰性气体的工作状态的预设，输出的高次谐波通过铝膜进行基频光和杂散光的过滤，最终得到Q值可控的极紫外激光。