[发明专利]一种各向异性导电膜中粒子的检测方法

摘要

该发明公开了一种各向异性导电膜中粒子的检测方法，应用于COG、FOG制程中的ACF粒子自动光学检测方法,特别涉及检测压制的导电粒子。该方法根据粒子图像的灰度及位置特征，进行特征合并，再通过梯度场的量化，避开了大量的数据运算，在运算速度上完全能跟上实际的生产节拍。本方法检测正确率很高，能取代人工的电气检测和显微镜检测，可以广泛应用于COG和FOG生产中的自动光学检测。

主权项

一种各向异性导电膜中粒子的检测方法，该方法包括：步骤1：利用线阵相机采集各向异性导电膜中粒子图像，得到放大的粒子图像，并记录拍摄图像时的光照方向；步骤2：对采集到的图像进行去噪处理；步骤3：采用直方图均衡化方法对去噪图像进行灰度变换，得到灰度图像；步骤4：采用光照方向差值法对步骤3得到的灰度图像进行处理；光照方向为步骤1记录的光照方向；步骤5：对步骤4得到的图像进行二值化处理，得到背景为黑色，粒子为白色的图像，由此计算出粒子个数；步骤6：根据步骤5得到图像中白色区域所在位置，确定步骤4处理后图像中粒子所在位置；步骤7：采用拉普拉斯算子求出步骤6中各粒子的梯度场，判断粒子是否合格；根据光照及环境变化设定一阈值，计算出的梯度场大于阈值则合格，小于则不合格；其特征在于所述步骤4的光照方向差值法的具体方法为：选取一个像素点，再找到该像素点沿光照方向上1～D范围内的灰度值最小值；将选取像素点的灰度值与该最小值点的灰度值作差，得到的差赋为选取像素点的新灰度值；其中D的取值根据实际图像粒子的大小进行确定，粒子在图像中半径为r，则D取值在2*r±2。