[发明专利]用于集成电路封装设备的料片进给机构有效
| 申请号: | 201510138042.6 | 申请日: | 2015-03-27 |
| 公开(公告)号: | CN104701227B | 公开(公告)日: | 2017-12-29 |
| 发明(设计)人: | 王敕 | 申请(专利权)人: | 江苏艾科瑞思封装自动化设备有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
| 代理公司: | 苏州华博知识产权代理有限公司32232 | 代理人: | 彭益波 |
| 地址: | 215513 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种用于集成电路封装设备的料片进给机构,包括多个方向的运动平台,该运动平台由驱动机构驱动,该运动平台上还设置有料片移动装置,该料片移动装置压住料片并带动其相对该运动平台移动。本发明与现有技术相比,可以避免相机运动所产生的误差,从而提高了料片定位的精度,提高封装作业的工作效率,同时简化了焊头系统,从而降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词: | 用于 集成电路 封装 设备 进给 机构 | ||
【主权项】:
用于集成电路封装设备的料片进给机构,包括多个方向的运动平台,所述运动平台由驱动机构驱动,其特征在于,所述运动平台上还设置有料片移动装置,所述料片移动装置压住所述料片并带动其相对所述运动平台移动,所述料片移动装置包括:底座,其固定安装于运动平台上;滑轨,其固定安装于所述底座上;滑块,其由驱动装置驱动沿所述滑轨来回滑动,所述滑块的一侧还具有延伸部,所述延伸部用于压住料片并带动其来回运动,所述延伸部下方设有夹片,滑块和夹片之间设置电磁铁来驱动滑块和夹片的开合。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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