[发明专利]一种Bi4YTi3FeO15多铁薄膜的化学制备方法在审

专利信息
申请号: 201510136621.7 申请日: 2015-03-27
公开(公告)号: CN104844183A 公开(公告)日: 2015-08-19
发明(设计)人: 卢朝靖;李媛;宿杰;孙际源 申请(专利权)人: 青岛大学
主分类号: C04B35/26 分类号: C04B35/26;C04B35/622
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 266071 山东省青岛市市南区*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明属于物理化学材料制备技术领域,涉及一种Bi4YTi3FeO15多铁薄膜的化学制备方法,其特征在于将一层磁性八面体基团YFeO3插入到三层层状钙钛矿型铁电体Bi4Ti3O12中形成新型四层层状钙钛矿型Bi4YTi3FeO15多铁薄膜。本发明首先采用化学制备方法配制Bi4YTi3FeO15前驱体溶胶并直接在洁净的(111)Pt/Ti/SiO2/Si(100)衬底上沉积湿膜,然后将其放入快速热处理炉内,在O2气氛中退火处理。该方法所需设备简单,成本低,可与微电子技术工艺兼容,适合工业化生产。制备出的Bi4YTi3FeO15多铁薄膜相纯,铁电性能好,非常有利于Bi4YTi3FeO15多铁薄膜的应用与推广。
搜索关键词: 一种 bi sub yti feo 15 薄膜 化学 制备 方法
【主权项】:
一种Bi4YTi3FeO15多铁薄膜的化学制备方法,其特征在于,包括下述步骤:(a)Bi4YTi3FeO15前驱体溶胶的配制:以分析纯的硝酸铋Bi(NO3)3·5H2O,氧化钇Y2O3,乙酰丙酮铁C15H21FeO6和钛酸丁酯Ti(C4H9O)4为主要原料;按Bi4YTi3FeO15称取符合化学剂量比的各种原料进行配置;为了弥补在后续热处理过程中Bi元素的挥发,称量时Bi(NO3)3·5H2O过量4mol%;(b)在匀胶机上甩胶,直接在洁净的(111)Pt/Ti/SiO2/Si(100)衬底上沉积Bi4YTi3FeO15湿膜,匀胶机的转速为3500rpm,匀胶30s;(c)Bi4YTi3FeO15湿膜在快速热处理炉中进行热处理,以20℃/s的速率从室温升到200℃,保温300s,再以25℃/s~50℃/s的速率升至300℃~450℃,保温250s,然后以20℃/s~80℃/s的速率快速升至600℃~700℃,保温480s,在流动O2气氛中退火结晶,O2的流量为4L/min;(d)待快速热处理炉炉温自然冷却至室温后将薄膜取出,重复步骤(b)和(c)5次,最后得到Bi4YTi3FeO15多铁薄膜。
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