[发明专利]PN结的扩散方法、气体扩散装置和晶体硅太阳能电池片

摘要

本发明公开了一种PN结的扩散方法，包括将硅片插到扩散炉内并升至第一预设温度；经扩散炉管向扩散炉通入小氮、氧气和大氮，同时通过变量流量计调控所述小氮的流量，持续第一预设时间；扩散炉内温度升至第二预设温度，并经扩散炉管向扩散炉通入预设含量的氧气和大氮，持续第二预设时间；扩散过程结束，在扩散炉降温后取出硅片。本发明所公开的PN结的扩散方法，通过变量流量计调控所述小氮的流量，从而改变扩散炉内三氯氧磷的浓度，进而改变扩散源进入硅片内部的扩散量，从而形成更明显的浓度梯度，有效的提升太阳能电池片的光电转换效率。

主权项

一种PN结的扩散方法，其特征在于，包括：将硅片插到扩散炉内并升至第一预设温度；经扩散炉管向扩散炉通入小氮、氧气和大氮，同时通过变量流量计调控所述小氮的流量，持续第一预设时间；扩散炉内温度升至第二预设温度，并经扩散炉管向扩散炉通入预设含量的氧气和大氮，持续第二预设时间；扩散过程结束，在扩散炉降温后取出硅片；所述通过变量流量计调控所述小氮的流量的过程为：预设小氮流量初始值ni和小氮流量最终值nf；则所述小氮的流量Q为：其中，所述变量T为第一预设时间，单位为秒。